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가요다운받기 SK하이닉스, 메모리 업계 최초로 양산용 차세대 EUV 노광장비 도입

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작성자 또또링2
댓글 댓글 0건 조회Hit 127회 작성일Date 25-09-04 03:56

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가요다운받기 SK하이닉스가 메모리 업계에서 처음으로 양산용 차세대 극자외선(EUV) 노광장비를 이천 M16 공장에 반입했다고 3일 밝혔다. 치열한 반도체 경쟁 속에서 첨단 제품을 신속하게 개발·공급하기 위한 업계의 핵심 인프라 확보 움직임이 빨라지는 모습이다.
SK하이닉스가 도입한 장비는 네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 ‘트윈스캔 EXE:5200B’다. 차세대 노광장비인 ‘하이(High) 뉴메리컬어퍼처(NA·렌즈가 빛을 얼마나 많이 모을 수 있는지 나타내는 수치) EUV’ 가운데 대량 생산을 위한 첫 모델이다. ASML은 첨단 반도체 제조 공정에 필요한 EUV 노광장비를 생산하는 유일한 기업으로 ‘슈퍼 을’로 불린다.
해당 모델은 반도체 업계 전체에서 인텔이 가장 먼저 들여왔고, 메모리 업계에선 SK하이닉스가 처음이다. SK하이닉스는 우선 1대를 도입했다. 가격은 대당 5000억원이 넘는 것으로 전해진다. 삼성전자는 지난 3월 연구·개발용 하이 NA EUV 모델을 도입해 파운드리(위탁생산) 및 메모리 제품 개발에 활용하고 있는 것으로 알려졌다. 향후 삼성전자를 비롯한 다른 메모리 기업들도 양산용 모델을 도입할 것으로 예상된다.
EUV 노광장비는 반도체 원재료인 웨이퍼에 빛을 쏴 미세한 회로 패턴을 그리는 데 사용되는 첨단 제조장비다. 네덜란드 정부가 대중국 수출을 통제하는 품목이기도 하다. 하이 NA EUV는 기존 EUV보다 더 큰 NA를 적용해 해상도를 크게 높였다. 현 수준에서 가장 미세한 회로 패턴 구현이 가능해 선폭 축소와 집적도 향상에 핵심 역할을 할 것으로 기대된다. 다만 새 장비가 실제 대량 생산에 활용되기까진 시간이 걸릴 것으로 보인다.
반도체 제조업체가 생산성과 제품 성능을 높이려면 미세 공정 기술 고도화가 필수다. 회로를 더 정밀하게 구현할수록 웨이퍼당 칩 생산량이 늘어나고 전력 효율과 성능도 함께 개선되기 때문이다. SK하이닉스는 2021년 10나노급 4세대 D램에 EUV를 처음 도입한 이후 최첨단 D램 제조에 EUV 적용을 확대해왔다.
새 장비는 기존 EUV 대비 40% 향상된 광학 기술로 1.7배 더 정밀한 회로 형성이 가능하고 2.9배 높은 집적도를 구현할 수 있다. SK하이닉스는 “장비 도입을 통해 기존 EUV 공정을 단순화하고 차세대 메모리 개발 속도를 높여 제품 성능과 원가 경쟁력을 동시에 확보할 방침”이라며 “고부가가치 메모리 시장에서 입지를 강화하고 기술 리더십을 공고히 할 수 있을 것”이라고 전했다.
AI 연산을 지원하는 고대역폭메모리(HBM) 시장을 선점한 SK하이닉스는 올해 1분기에 이어 2분기에도 글로벌 D램 시장 1위를 차지했다. 시장조사업체 트렌드포스에 따르면 매출 기준 2분기 점유율은 SK하이닉스가 38.7%, 삼성전자가 32.7%, 마이크론이 22.0%이었다.
이날 개최된 장비 도입 기념 행사에는 김병찬 ASML코리아 사장, 차선용 SK하이닉스 최고기술책임자(CTO·부사장), 이병기 제조기술 담당 부사장 등이 참석했다. 김 사장은 “SK하이닉스와 긴밀히 협력해 차세대 메모리 반도체 기술 혁신을 앞당길 수 있도록 적극 지원하겠다”고 말했다. 차 CTO는 “최첨단 메모리를 가장 앞선 기술로 개발해 인공지능(AI) 메모리 시장을 선도하겠다”고 말했다.
미국이 가자지구를 최소 10년간 신탁통치하며 이곳을 관광 리조트와 첨단 제조·기술 허브로 개발하는 방안을 검토 중인 것으로 드러났다. 200만명이 넘는 가자지구 주민 전체는 해외나 국내 ‘안전 구역’으로 이주하게 된다. 지난 2월 도널드 트럼프 대통령이 가자지구를 미국이 소유하고 ‘중동의 리비에라(해안 휴양지)’로 만들겠다고 한 구상이 구체화한 것이다.
워싱턴포스트(WP)는 지난달 31일(현지시간) ‘그레이트 트러스트’(GREAT trust)라는 이름이 붙은 전후 가자지구 관리 계획이 실린 38쪽 분량의 문건을 입수해 이같이 보도했다. 프로젝트명은 ‘가자 재구성, 경제 가속화 및 변환 트러스트’(Gaza Reconstitution, Economic Acceleration and Transformation Trust)를 줄인 말이다.
트럼프 행정부 내부에서 회람된 이 문건에 따르면 이스라엘이 가자지구를 점령한 후 가자지구의 행정 권한과 책임을 그레이트 트러스트에 이전한 후 신탁통치 체제가 들어설 계획이다. 신탁통치는 “개혁되고 탈급진화된 팔레스타인 정치체가 이를 대신할 준비가 될 때까지” 수년간 가자지구를 통치할 것이며, 최장 10년이 걸릴 것으로 전망했다.
계획에 따르면 가자지구 재건 기간 200만명이 넘는 주민 전체는 타국으로 떠나거나 ‘안전 지대’로 불리는 임시 수용시설로 이주해야 한다.
토지 소유자들에게는 토지 재개발권을 트러스트에 주는 대가로 디지털 토큰을 받게 된다. 디지털 토큰은 가자지구 밖에서 새로운 인생을 시작할 자금으로 쓰이거나, 개발 후 가자지구에 들어설 6~8곳의 “인공지능(AI)으로 가동되는 스마트시티” 중 한 곳의 분양권으로 교환될 수 있다.
가자지구를 떠나기로 한 주민에게는 5000달러(약 700만원)의 현금과 다른 곳에서 4년간 임차료와 1년치 식량 지원금이 제공된다. 계획에 따르면 신탁은 주민이 가자지구를 떠날 경우 1인당 2만3000달러(약 3200만원)를 절약할 수 있다고 추산했다.
이 계획은 미국과 이스라엘이 주도한 가자인도주의재단(GHF)을 설립하고 운영했던 이스라엘인들 중 일부가 수립했으며, 자금조달 계획은 세계 3대 컨설팅그룹 중 하나인 보스턴컨설팅그룹(BCG) 소속이었던 팀이 담당했다.
WP는 그레이트 트러스트 계획이 트럼프 대통령의 의도인지 확실하지는 않지만, 가자지구를 ‘중동의 리비에라’로 만들겠다는 트럼프 대통령의 구상을 실현하기 위해 고안된 것이라고 소식통을 인용해 전했다. 계획에 정통한 관계자는 이 계획안이 지난 4월 완성됐다고 밝혔다.
사업안은 부동산 개발업자 출신 트럼프 대통령을 만족시킬 장미빛 미래로 가득하다. 가자지구 서쪽 해안은 고급 리조트와 인공 섬을 갖춘 ‘가자 트럼프 리비에라’로 개발된다. 사우디아라비아 왕세자 무함마드 빈 살만의 이름을 딴 ‘MBS 순환 고속도로’와 아랍에미리트(UAE) 대통령 무함마드 빈 자이드의 이름을 딴 ‘ MBZ 고속도로’도 세워진다. 테슬라 최고경영자 일론 머스크의 이름을 딴 첨단 제조단지 ‘일론 머스크 스마트 제조 구역’도 들어선다. 해안 휴양지와 산업지구 사이에는 “역동적이고 현대적이며 AI기반 스마트 계획 도시”가 세워진다.
WP는 이 계획의 가장 매력적인 점은 미국 정부 자금 지원이 필요하지 않고, 투자자들에게 상당한 수익을 제공하는 것이라고 전했다. 계획안은 “전기차 공장, 데이터센터, 해변 리조트, 고층 아파트 등에 대한 공공 및 민간 부문 투자를 통해 자금을 조달한다”고 돼 있다.
트럼프 대통령이 지난 2월 가자지구를 미국이 소유하고 ‘중동의 리비에라’로 개발하겠다고 밝힌 후 강제이주가 국제법 위반이라는 비난이 쏟아지자 트럼프 대통령의 야심은 겉으로는 잠잠해지는 듯했다. 하지만 BCG가 가자지구 주민 이주·재건 비용을 추산하는 프로젝트를 수주하고, GHF가 가자지구에 주민 수용시설인 ‘인도적 환승지역’을 건설 계획을 세우는 등 물밑에서는 가자주민 이주·개발을 실현할 계획이 검토된 사실이 언론 보도를 통해 알려졌다.
지난달 27일 백악관에서 토니 블레어 전 영국 총리와 트럼프 대통령의 사위이자 전 중동 담당 수석 고문이었던 재러드 쿠슈너와 론 더머 이스라엘 전략장관이 참여한 가운데 전후 가자지구 구상에 관한 회의가 열렸다. 블레어 전 총리가 설립한 비영리단체가 전후 가자지구 개발 프로젝트에 참여할 것으로 전해졌다.
가자지구 75%를 점령한 이스라엘이 나머지 지역 전체를 점령하겠다는 계획을 밝히고 북부 인구밀집 지역 가자시티에 대한 군사작전을 시작한 가운데 ‘팔레스타인인 없는 가자지구’ 개발 계획이 가시화하고 있는 것이다.
이 가운데 이스라엘이 서안지구를 병합하는 방안을 논의하고 있다고 로이터통신이 이날 보도했다. 이달 뉴욕에서 열리는 유엔 총회에서 프랑스, 캐나다, 영국, 호주 등이 팔레스타인 국가를 공식 인정하겠다고 밝힌 데 따른 대응 방안으로 풀이된다.
이스라엘이 가자지구 점령 공세를 강화하고, 서안지구 병합까지 추진함에 따라 이스라엘-팔레스타인 갈등을 해결할 ‘두 국가 해법’은 점점 멀어지고 있다.
이스라엘은 지난달 20일 서안지구 E1 구역에 주택 3400호를 포함한 대규모 정착촌을 조성하겠다는 계획을 내놨다. 이는 사실상 서안지구를 두 동강 내 팔레스타인 국가 건설을 가로막기 위한 것이다.
이스라엘의 대표적 극우 인사인 베잘렐 스모트리히 재무장관은 서안지구 정착촌 건설 계획이 “팔레스타인 국가 건설을 완전히 없애버리기 위한 것”이라고 말했으며, 지난주 “이스라엘은 가자지구 전체를 영원히 장악해야 한다”고 말했다.
길거리 정거장에 세워진 ‘버스 도착정보 안내장치’는 자신이 타고자 하는 버스가 어디쯤 왔는지를 실시간으로 시민들에게 알려준다. 유용한 기능이지만 전기 사용량이 많아 대규모 전력망이 갖춰진 큰 도시 위주로 서비스가 가능하다.
국내 연구진이 소형 태양 전지판이 감당할 정도로 전기를 적게 먹는 디스플레이인 ‘전자종이’를 버스 도착정보 안내장치에 설치해 이 문제를 해결했다. 해당 기술이 상용화하면 중소도시나 오지에 사는 시민에게도 버스 도착 시간을 원활하게 알려줄 수 있을 것으로 보인다.
한국건설기술연구원은 외부에서 전력을 공급받지 않아도 작동할 수 있는 에너지 자립형 버스 도착정보 안내장치를 개발했다고 3일 밝혔다.
현재 전국 곳곳에 설치된 버스 도착정보 안내장치의 디스플레이로는 전력 소모가 많은 액정표시장치(LCD)나 발광다이오드(LED)가 쓰인다. 두 디스플레이 모두 외부에서 전력을 다량 공급해야 작동한다. 버스 도착정보 안내장치를 세우기 위해서는 전력망이 잘 갖춰진, 대도시라는 지리적 조건이 필요하다는 뜻이다. 전력을 끌어오려면 지반 굴착이 필요하기 때문에 시간과 비용도 많이 든다.
연구진은 이 문제를 해결하기 위해 버스 도착정보 안내장치 디스플레이를 전자종이로 바꿨다. 미국 기업 아마존의 독서용 단말기 ‘킨들’에서도 사용되는 전자종이는 음전하를 띤 검은색 입자와 양전하를 띤 흰색 입자가 내부에 들어 있다.
전기를 통하게 하면 검은색 또는 흰색 입자가 움직이며 글자·그림을 표현한다. 그런데 움직임이 멈춘 입자는 전기를 끊어도 얼음처럼 제자리를 유지한다. 이 때문에 전자종이는 전력을 적게 먹는다.
전자종이 전력 사용량은 LCD보다는 94%, LED보다는 91% 적다. 이 때문에 연구진은 소량의 전기만을 생산할 작은 태양 전지판을 새로운 버스 도착정보 안내장치에 부착했다. 외부 전원 공급은 필요 없도록 만든 것이다.
연구진은 새 안내장치가 중소도시나 교통 소외 지역에서 널리 쓰일 것으로 내다봤다. 승객 수요만 있으면 정교한 전력 공급망 없이도 어디든지 설치할 수 있기 때문이다. 산간벽지 주민이 언제 올지 정확히 모르는 버스를 정거장에서 하염없이 기다리는 일을 피하도록 할 수 있다.
박선규 건설기술연구원장은 “이번 기술은 교통정보 서비스 사각지대를 해소하고 교통 약자의 정보 접근성을 개선할 것”이라고 밝혔다.
국회 법제사법위원회 소속 의원들이 1일 윤석열 전 대통령에 대한 체포영장 집행 장면이 담긴 폐쇄회로(CC)TV 영상을 열람한 뒤 “윤 전 대통령이 구치소 내에서 제왕처럼 군림하는 모습을 확인했다”고 말했다. CCTV를 시민들에게 공개할지 여부는 정해지지 않았다.
법사위 소속 더불어민주당·조국혁신당 의원들은 이날 경기도 의왕시 서울구치소를 찾아 현장검증을 진행했다. 이들은 윤 전 대통령의 수감 중 특혜 논란과 체포영장 과정의 적법성 등을 확인하기 위해 당시 상황을 담은 CCTV 기록을 열람했다.
법사위 여당 간사인 김용민 의원은 열람 직후 기자들과 만나 “특검은 사전에 충분히 고지하고 절차를 보장하며 영장을 집행했지만, 윤 전 대통령과 변호인들의 막무가내식 거부와 궤변으로 사실상 실패했다”고 말했다.
김 의원은 “1차 집행은 윤석열이 속옷 차림으로 누워서 강제력을 행사할 수 없다고 강력하게 반발했다”고 말했다. 그는 “2차 집행의 경우에도 이미 속옷 차림으로 자리에 앉아 성경책으로 보이는 책을 읽으며 집행을 거부했다”며 “1, 2차 모두 속옷 차림으로 거부한 게 맞다”고 말했다.
윤 전 대통령은 체포 영장을 집행하려는 교정당국 관계자들에게 고압적 태도로 일관했다고 법사위원들은 전했다. 김 의원은 “(구치소) 출정과장이 옷을 입고 나오라 하니 (윤 전 대통령이) ‘내가 계속 거부하는데 어떻게 집행하겠냐‘고 발언했다”고 말했다. 이어 “윤 전 대통령이 출정과장 사무실에서 변호인과 잠시 면담했는데 면담이 끝난 이후에도 변호인들이 퇴거 불응하며 강제집행을 계속 방해하고 궤변을 늘어놓으면서 오히려 교도관을 협박했다”고 말했다.
2차 집행 과정에서 특검의 물리력 행사로 부상을 당했다는 윤 전 대통령 측 주장은 사실과 다르다고 했다. 김 의원은 “윤석열이 다리를 꼬고 앉아있던 그 의자를 밖으로 끌어당기는 물리력 행사만 있었을 뿐 강제로 들어내거나 끌어내지 않았다”며 “갑자기 윤 전 대통령이 의자에서 땅바닥으로 앉으며 체포영장에 불응했고 이후 스스로 일어났다”고 말했다.
법사위원들은 윤 전 대통령이 구치소 내 야간 접견 허용 등 특혜를 받고 있다는 주장도 제기했다. 김 의원은 “구치소장으로부터 (윤 전 대통령이) 일과시간 이후 변호인 접견을 한 적이 여러 번 있었다 들었다는 답변을 들었다”고 전했다.
장경태 민주당 의원도 “윤 전 대통령은 7명의 수발 인원도 24시간 지원받으며 사실상 구치소의 제왕처럼 (군림)하고 있었다”고 말했다. 서영교 의원은 이날 CCTV 열람 전 “윤석열의 면회 상황을 집계해 보니 총 접견 시간이 2만3718분이었고, 면회 인원은 348명이라고 한다”며 서울구치소 측에 확인 요청을 했다.
이날 현장 검증은 지난달 26일 법사위의 ‘현장검증 실시계획서 채택의 건’ 의결에 따른 것이다. 다만 법사위는 CCTV를 국민에게 공개할지 여부는 추후 논의하기로 했다.

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