유튜브 조회수 구매 SK하이닉스가 메모리 업계에서 처음으로 양산용 차세대 극자외선(EUV) 노광장비를 이천 M16 공장에 반입했다고 3일 밝혔다. 치열한 반도체 경쟁 속에서 첨단 제품을 신속하게 개발·공급하기 위한 업계의 핵심 인프라 확보 움직임이 빨라지는 모습이다.
SK하이닉스가 도입한 장비는 네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 ‘트윈스캔 EXE:5200B’다. 차세대 노광장비인 ‘하이(High) 뉴메리컬어퍼처(NA·렌즈가 빛을 얼마나 많이 모을 수 있는지 나타내는 수치) EUV’ 가운데 대량 생산을 위한 첫 모델이다. ASML은 첨단 반도체 제조 공정에 필요한 EUV 노광장비를 생산하는 유일한 기업으로 ‘슈퍼 을’로 불린다.
해당 모델은 반도체 업계 전체에서 인텔이 가장 먼저 들여왔고, 메모리 업계에선 SK하이닉스가 처음이다. SK하이닉스는 우선 1대를 도입했다. 가격은 대당 5000억원이 넘는 것으로 전해진다. 삼성전자는 지난 3월 연구·개발용 하이 NA EUV 모델을 도입해 파운드리(위탁생산) 및 메모리 제품 개발에 활용하고 있는 것으로 알려졌다. 향후 삼성전자를 비롯한 다른 메모리 기업들도 양산용 모델을 도입할 것으로 예상된다.
EUV 노광장비는 반도체 원재료인 웨이퍼에 빛을 쏴 미세한 회로 패턴을 그리는 데 사용되는 첨단 제조장비다. 네덜란드 정부가 대중국 수출을 통제하는 품목이기도 하다. 하이 NA EUV는 기존 EUV보다 더 큰 NA를 적용해 해상도를 크게 높였다. 현 수준에서 가장 미세한 회로 패턴 구현이 가능해 선폭 축소와 집적도 향상에 핵심 역할을 할 것으로 기대된다. 다만 새 장비가 실제 대량 생산에 활용되기까진 시간이 걸릴 것으로 보인다.
반도체 제조업체가 생산성과 제품 성능을 높이려면 미세공정 기술 고도화가 필수다. 회로를 더 정밀하게 구현할수록 웨이퍼당 칩 생산량이 늘어나고 전력 효율과 성능도 함께 개선되기 때문이다.
SK하이닉스는 2021년 10나노급 4세대 D램에 EUV를 처음 도입한 이후 최첨단 D램 제조에 EUV 적용을 확대해왔다.
새 장비는 기존 EUV 대비 40% 향상된 광학 기술로 1.7배 더 정밀한 회로 형성이 가능하고 2.9배 높은 집적도를 구현할 수 있다.
SK하이닉스는 “장비 도입으로 EUV 공정을 단순화하고 차세대 메모리 개발 속도를 높여 제품 성능과 원가 경쟁력을 확보할 방침”이라며 “고부가가치 메모리 시장에서 입지를 강화하고 기술 리더십을 공고히 할 수 있을 것”이라고 했다.
한편 인공지능(AI) 연산을 지원하는 고부가가치인 고대역폭메모리(HBM) 시장을 선점한 SK하이닉스는 올해 1분기에 이어 2분기에도 글로벌 D램 시장 1위를 차지했다. 시장조사업체 트렌드포스에 따르면 매출 기준 2분기 점유율은 SK하이닉스가 38.7%, 삼성전자가 32.7%, 마이크론이 22.0%였다.
이날 개최된 장비 도입 기념행사에는 김병찬 ASML코리아 사장, SK하이닉스 차선용 최고기술책임자(CTO·부사장), 이병기 제조기술 담당 부사장 등이 참석했다. 김 사장은 “SK하이닉스와 긴밀히 협력해 차세대 메모리반도체 기술 혁신을 앞당길 수 있도록 적극 지원하겠다”고 밝혔다.
김건희 여사의 ‘매관매직 의혹’을 수사 중인 민중기 특별검사팀이 김 여사에게 이른바 ‘나토 3종 세트’를 선물한 이봉관 서희건설 회장을 이틀 연속 소환해 조사했다.
이 회장은 전날에 이어 3일 오후 2시 서울 종로구 KT광화문웨스트 빌딩의 특검 사무실에 출석해 조사를 받은 뒤 조서 열람까지 마치고 오후 5시27분쯤 귀가했다. 이날 이 회장은 오후 1시40분쯤 기자들이 있는 포토라인을 거치지 않고 곧바로 특검 사무실로 들어갔다. 특검팀은 언론 공지를 통해 “건강상의 이유를 들어 특검 측의 사전 양해 없이 지하 주차장을 통해 입실했다”고 설명했다. 귀갓길에도 ‘김 여사가 회사에 도울 일 있냐고 먼저 물었는지’ 등의 취재진 질문에 답하지 않았다.
이 회장은 전날에는 오전 10시부터 조사를 받다가 오후 5시쯤 건강상 문제를 들어 조서 열람 없이 귀가했다. 김형근 특검보는 3일 정례브리핑에서 “어제의 경우 오전까지 조사를 잘 받았는데 점심 식사 후 오후에 혈압의 진폭이 갑자기 커져서 조사를 받다가 수시로 지하주차장의 차에서 휴식을 취했다”며 “의사들도 건강에 대해 우려를 해서 조사는 무리하게 진행하지 않으려 했다”고 말했다.
전날에 이어 이날도 특검은 이 회장의 자수서를 바탕으로 조사를 진행했다. 이 회장은 앞서 특검에 제출한 자수서에서 2022년 3~4월 맏사위인 박성근 전 국무총리 비서실장의 인사를 청탁하며 6000만원대 반클리프 아펠 목걸이를 포함해 총 1억원대 명품 장신구 3종을 김 여사에게 직접 전달했다고 밝혔다. 김 여사는 같은 해 6월29~30일 북대서양조약기구(NATO·나토) 순방 때 이 장신구를 모두 착용했다. 특검은 이 회장이 ‘대통령 안가’를 방문한 경위도 조사했다. 이 회장은 자수서에서 “지난해 김 여사가 불러 서울 종로구 삼청동 대통령 안가에서 두 차례 만났다”고 밝혔다.
박 전 실장은 지난 2일 오후 2시에 특검 사무실에 들어가 오후 10시쯤 나왔다. ‘인사 청탁 의혹에 대해 한마디 해달라’ 등 취재진의 질문에 대답하지 않았다. 김 여사 측은 해당 의혹에 대해 “수사 진행 중인 사안으로 자수서나 진술을 확인할 방법이 없는 현시점에선 추후 재판에 가서 다툴 예정”이라고 밝혔다. 특검은 구속기소 전에는 김 여사를 조사하면서 해당 의혹 관련 질의를 하지 않은 것으로 알려졌다.
가을이 오면, 시인은 아버지와 국화와 문을 먼저 떠올린다. 시인의 아버지는 “국화가 지기 전” 언제나 문에 창호를 새로 바르셨다. 그런 날, 국화꽃을 바라보시던 아버진 “일년 중 가장 흐뭇한 표정을 하고 계셨”다. 어쩌면 세상의 모든 아버지는 자식에게 문을 만들어주는 존재인지도 모른다(어떤 아버지는 문을 부숴버리기도 하지만). 아버지가 “그해의 가장 좋은 국화꽃”을 따서 “창호지와 함께 바르”던 문은 세상과 시인 사이의 첫 경계였을 것이다.
문은 나와 밖, 가족과 가족 밖, 세상 모든 경계의 시작이다. 밖으로 나가기 위해 나를 잠시 닫아두기도 한다. 아버지는 세상의 안과 밖 경계에서 바람이 쉽게 문을 흔들지 못하도록 지켜준다(어떤 아버지는 멀리 갔다가 바람을 갖고 들어오지만). 시인의 아버지는 “꽃과 그늘과 바람”으로 문을 만들었다. 그 문에는 귀뚜라미 소리, 낙엽 뒹구는 소리, 국화꽃이 “그늘째 피어나는” 소리도 함께 살았을 것이다. 문풍지처럼 흔들리며 우리의 가을도 조금씩 여물어갈 것이다.

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